简介
LS线性平台提供亚微米精度,并通过使用闭环直流伺服电机和高分辨率旋转编码器进行定位反馈,确保精确控制。可选的线性编码器进一步提升定位精度。该平台能够作为Z轴载物台和电控线性位移平台的理想选择。
ASI的LS线性平台,包括LS-25、LS-50等型号的电动载物台,配备交叉滚柱滑块、精密导螺杆以及零背隙小型齿轮直流伺服电机,确保运动的平稳和精准。设备可提供从50mm到300mm的精确行程,能够单独使用,也可垂直或水平放置,适用于电动位移台等,并支持高达4.5kg的载荷。
该装置具备内置限位开关,可通过多种导螺杆选项来自定义。在标准旋转编码器配置中,ASI的MS-2000控制器可轻松实现50到100 nm范围内的分辨率,重复性系数可小于300 nm RMS。
可选的线性编码器提供10nm的刻度分辨率,刻度精度为±3 μm。MS-2000控制器支持自动间隙校正,兼容工业标准命令,并通过RS-232或USB与主机通讯。

参数
型号 | 行程 |
LS-25 | 25 mm |
LS-50 | 50 mm |
LS-100 | 100 mm |
LS-200 | 200 mm |
LS-400 | 400 mm |
编码器分辨率 | 5.0 nm |
带线性编码器 | 10 nm |
RMS重复性(典型值) | < 0.7 μm |
带线性编码器(典型值) | 200 nm |
丝杠精度 | 0.25 μm/mm |
带线性编码器 | ± 3 μm/length scale |
最大速度 | 1.75 mm/s (LS-25: 1.60 mm/s) |
丝杠选项
丝杠螺距选项 | 旋转编码器分辨率 | 最大速度 |
25.40mm(超粗) | 88nm | 28mm/s |
12.70mm(粗) | 44nm | 14mm/s |
6.35mm(标准) | 22nm | 7mm/s |
1.59mm(细) | 5.5nm | 1.75mm/s |
0.635mm(超细) | 2.2nm | 0.7mm/s |
*旋转编码器和 6.35 mm 螺距丝杠